本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第3部分。GB/T25915已经发布了以下部分:
——第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;
——第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;
——第3部分:检测方法;
——第4部分:设计、建造、启动;
——第5部分:运行;
——第6部分:词汇;
——第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);
——第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;
——第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;
——第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;
——第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求;
——第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁;
——第14部分:按粒子浓度评估设备适用性;
——第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性;
——第16部分:提升洁净室和空气净化装置的能效。
本文件代替GB/T25915,3-2010《洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法》,与GB/T25915,3—2010相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a)第3章术语和定义:
——更改术语“离散粒子计数器”为“光散射粒子计数器”(见3.6.4,2010年版的3.6.8);
——增加了“分辨力”(见3.1.5)、“灵敏度”(见3.1.6)和“配有流量计的风量罩”(见3.6.3);
——删除了“大粒子”“M描述符”“U描述符”“超微粒子”“标准渗漏透过率”“平均风量”“非等动力采样”“串级撞击采样器”“凝聚核计数器”“计数效率”“微分迁移率分析仪”“扩散元件”“伪计数”“风量罩”“同轴采样”“等动力采样”“粒径限制器”“阈值粒径”“飞行时间粒径测量”和“虚拟撞击器”(见2010年版的3.2.4、3.2.5、3.2.11、3.2.12、3.3.10、3.4.2、3.6.2、3.6.3、3.6.4、3.6.5、3.6.6、3.6.7、3.6.9、3.6.10、3.6.11、3.6.12、3.6.13、3.6.14、3.6.15、3.6.16);
b)更改“必测项目”为“一般检测”,并更新了具体内容(见4.1.1,2010年版的4.1.1);
c)更改“可选检测项目”为“支持性检测”,并更新了检测项目(见表2,2010年版的表2);
d)更改“气流检测”为“风速和风量检测”,“气流方向检测与显形检查”为“气流方向检测和可视化”,“隔离检漏”为“围护结构密闭性检测”(见表2,2010年版的表2);
e)更改了压差检测(见4.2.1,2010年版的4.2.3)、风速和风量检测(见4.2.2,2010年版的4.2.2)、气流方向检测和可视化(见4.2.3,2010年版的4.2.5)、自净检测(见4.2.4,2010版的4.2.9)、温度检测(见4.2.5,2010年版的4.2.6)、湿度检测(见4.2.6,2010年版的4.2.6)、已装过滤系统泄漏检测(见4.2.7,2010年版的4.2.4)、围护结构密闭性检测(见4.2.8,2010年版的4.2.10)、静电和离子发生器检测(见4.2.9,2010年版的4.2.7)、粒子沉积检测(见4.2.10,2010年版的4.2.8);
f)删除了空气悬浮粒子计数(见2010年版的4.2.1);
g)增加了隔离检测(见4.2.11)。
本文件等同采用ISO14644-3:2019《洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法》。
本文件做了下列最小限度的编辑性改动:
——ISO14644-3:2019中表A.1的检测项目“送风速度(单向流)”和“洁净室或洁净区内风速的均匀性(单向流)”与检测程序参照条款B.2.2.2和B.2.3不对应,本文件按对应情况做了调整。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。
本文件起草单位:吴江市华宇净化设备有限公司、上海科信检测科技有限公司、熙迈(上海)检测技术服务有限公司、中国电子工程设计院有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、北京中瑞高科技产业服务有限公司、深圳天溯计量检测股份有限公司、中国标准化协会、唐颐控股(深圳)有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、上海市室内环境净化行业协会、北京市医疗器械检验研究院(北京市医用生物防护装备检验研究中心)、中国食品药品检定研究院、上海市食品药品包装材料测试所、中电精泰电子工程有限公司、北京中邦兴业科技有限公司、苏州鸿基洁净科技股份有限公司、上海蔚亚科技发展有限公司、派欧尼尔环境净化工程(北京)有限公司、北京科源顺达建设工程有限公司、持正检测(山东)有限公司、上海市安装工程集团有限公司、湖南瑞邦医疗科技发展有限公司、苏州康启环境科技有限公司、江苏硕世生物科技股份有限公司、深圳市研成工业技术有限公司。
本文件主要起草人:陈思源、谭军、郝胤博、王立、高正、谭志坚、杨会英、杨子强、郭凯、王丙信、魏佳鸣、苏建程、宋金辉、孔善平、石霞、徐绍坤、谭莉平、韩辉、曾世清、罗贯翔、彭永昌、王坤、刘中华、贺亦峰、曹晓程、魏兰、郝程、曲明青、万桂波、肖秋贵。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
——2010年首次发布为GB/T25915.3-2010;
——本次为第一次修订。