本标准按照 GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准的主要内容包括：1、范围;2、规范性引用文件;3、基本方法及原理;4、标准样品和仪器设备;5、操作方法;6、数据处理。
1 范围
本标准规定了柔性薄膜基体上涂层(包含有机、无机与金属涂层)厚度扫描电子显微镜测量的基本方法及原理、标准样品和仪器设备、操作方法、数据处理的方法。
本标准适用于厚度不大于3mm的柔性薄膜基体上厚度为10nm~0.5mm的涂层的厚度测量。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 20307一2006纳米级长度的扫描电子显微镜测量方法通则
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