《相移式激光平面干涉仪校准规范》(征求意见稿)

依据国质检办量“关于做好国家计量技术法规制(修)定计划的通知”文件下达的任务规定，全国几何量工程参量计量技术委员会《相移式激光平面干涉仪校准规范》的制定工作已经开始。修改意见请回复：委员会秘书处邮箱mtc4@vip.sina.com,谢谢!

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节选该规范部分内容

范围

本规范适用于测量光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的相移式激光平面干涉仪(以下简称相移干涉仪)的校准。

引用文件：《JJG28-2000平晶检定规程》、《JJF1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范》。

相移干涉仪是利用压电陶瓷微位移机构产生相位移动，获得不同相位的系列干涉图像，并按相应数学公式(1)进行处理和分析、计算，得到与理想平面面形偏差的干涉仪。相移干涉仪按光轴方位分为立式(见图1)和卧式(见图2)结构。

校准项目和校准用标准器及相应设备

校准项目和校准方法

标准平面镜的绝对面形偏差

选用满足绝对面形偏差PV ≤λ/20，RMS ≤λ/100的三块标准平面镜。

在三块标准平面镜上做好A、B、C和x，y两垂直方向的标记。然后在相移干涉仪上采用三面全面形互检法对三块标准平面镜的平面进行绝对法测量，其中参考标准平面镜B或者C安装在相移器上，被测标准平面镜A或者B安装在仪器工作台上，其顺序如下(见图3)：

1)参考标准平面镜B与被测标准平面镜A，进行互检;

2)参考标准平面镜B与逆时针旋转90°后的被测标准平面镜A90º，进行互检;

3)参考标准平面镜C与被测标准平面镜A，进行互检;

4)参考标准平面镜C与被测标准平面镜B，进行互检。

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