能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEM-EDS组合是应用zei广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的标配。是微区成份分析的主要手段之一。
能谱仪使用范围
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析;
2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定;
3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测;
4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域;
5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。
能谱仪性能指标
固体角：决定了信号量的大小，该角度越大越好
检出角：理论上该角度越大越好
探头：新型硅漂移探测器(SDD)逐步取代锂硅Si(Li)探测器
能量分辨力：最高级别的能谱仪分辨力可达121eV
探测元素范围：Be4～U92
能谱仪仪器特点
·仪器指标全符合家质量技术监督检验检疫总局发布实施的GB6566-2010《建筑材料放射性核素限量》及GB50325-2001《民用建筑工程室内环境污染控制规范》的要求。
· 目前内wei款实际应用道数为2048道的多道γ谱仪;
· 采用PMT输出信号直通采集方式,波形无畸变;
· 全波采集,无脉冲漏计,具有基线修正,干扰识别等智能化功能,实现质量能谱数据采集;
· 数据通过率: >333Kcps,可用于低、中、各种活度放射性样品分析;
· 具有示波器显示功能,可直接观察信号波形,测量期间可行基线监测;
· 测量期间可直读计数率(cps),直接快速判别样品放射性强度;
· 具有峰位监测功能,保证数据采集质量;
· 征谱段综合分析解谱,全谱检验;
· 具有多谱线对比功能,可用于科研、教学及技术培训等;
· 具有粉末样品测量、无损样品测量、空气氡测量及土壤氡测量四大功能;
· 可配备用于铀的能谱分析软件，实现用单NaI探测器直接获取铀、镭、钍、钾含量数据;
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