X荧光光谱仪适用于工厂来料及制程控制中的有害物质检测，铅(Pb)、汞(Hg)、镉(Cr)、铬(Cd)、溴(Br)、氯(Cl)控制的利器。无损检测，可对电子电气设备，玩具指令中的有害物质进行定性定量分析。
X荧光光谱仪优势:
a)分析速度快。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
b)X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。(气体密封在容器内也可分析)但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。
c)非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
d)X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
e)分析精密度高。
f)制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
X荧光光谱仪劣势：
a)难于作绝对分析，故定量分析需要标样。
b)对轻元素检测的灵敏度要低一些。
c)容易受相互元素干扰和叠加峰影响。
X荧光光谱仪(XRF)主要由激发源X射线管产生入射X射线(一次X射线)，激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
元素的原子受到高能辐射激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有一定特殊性波长的X射线，根据莫斯莱定律，荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关，其数学关系如下：
λ=K(Z-s)-2
式中K和S是常数。
而根据量子理论，X射线可以看成由一种量子或光子组成的粒子流，每个光具有的能量为：
E=hν=hC/λ
式中，E为X射线光子的能量，单位为keV;h为普朗克常数;ν为光波的频率;C为光速。
因此,只要测出荧光X射线的波长或者能量,就可以知道元素的种类，这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。
X荧光光谱仪能够检测出元素周期表中的大部分元素，所以X荧光光谱仪能够对由这些元素组成的各种形式和性质的导体、非导体固体材料，包括玻璃、塑料、金属、矿石、水泥和耐火材料等等。而要检测这些物体，光谱仪中的X射线管功不可没，下面来了解一下X射线管应该符合哪些条件。
1、有X射线管是X荧光光谱仪中的一个重要组成部分，而且其本质是一个在高电压下工作的二极管，所以为了确保光谱仪的正常运行，应该能够连续在较高功率水平的基础上进行工作。
2、X荧光光谱仪中的X射线管应该能够提供比较大的X射线能量代谢，并且还要允许采用较大的焦斑以及窗口。同时在保证X射线管使用寿命的情况下，窗用材料铍片应该尽可能的薄，以便满足X荧光光谱仪的运行需求。
3、X射线管中的靶材纯度应该很高，并且杂质谱线的强度应该小于总强度的百分之一。此外，为满足X荧光光谱仪的多种分析要求，还应该尽可能配备多种靶材供X射线管选择，但是需要注意的是，端窗靶一般选用铑为阳极材料。
4、X荧光光谱仪中为X射线管提供高压和管电流的高压电源输出应该非常稳定可靠，而且其波长色散谱仪通常应该小于规定的百分比，能量色胆谱仪应该在标准范围之间。
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