1、无油真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
3、无油真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于无油真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
6、正确地选择无油真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
7、无油真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
8、无油真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，可以能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
9、无油真空泵的价格、运转及维修费用。
无油真空泵是一种无需任何油作润滑就能运转工作的机械真空泵。
使用维护
1、应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。
2、无灰尘及脏物的清洁场所。
3、无水、油等液体会降落到泵上。
4、不直接暴露在阳光里。
5、有足够的周围空间能便于泵的检查，维护和装拆。
6、泵必须安装在平坦的平面上。
7、可以将泵放在类似混凝土坚硬的地基上安装，如果没有条件，也可将泵牢固地安装在钢制或木制的机架上。
8、必须确保泵不因基础不牢固而引起震动。
9、与泵连接管道不宜过长和小于泵进口径，影响抽速，同是注意检查真空连接管道有否漏气。
10、接电线时，应注意电机铭牌上的规定接线要求。三相电泵要注意电机旋转方向应与泵上的标示箭头方向一致。
无油真空泵耐用性好，是抽真空，压缩，两用真空泵，是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。具体下面再来看一下：
优缺点
它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。
无油真空泵与油泵相比真空度低，抽气量小，但体积小巧，易于安装，维护简单，移动方便，不产生油烟，不污染环境；
尤其在要求较高的实验室使用较好。也是实验室常备的设备之一。
因此在选购无油真空泵时要先确定要求工作的真空度，如果需求的真度高；
而选的真空泵就要高于需求的真空度，否则达不到抽真空的要求，就会达不到工作要求。
其次是无油真空泵抽气速率，选型时就要稍大于所需求的抽气速率，这样就能更好的满足需要。
最后看抽取的气体有无腐蚀性，有腐蚀的气体会腐蚀泵，必须要用特殊的材质才能满足需求。
故障分析与排除
打开电源开关，指示灯不亮：
1.电源线是否与插座连接好。
2.察看保险丝是否完好。
开关指示灯亮，但泵不工作：
1.电源电压太低。
2.电机处于热保护状态，稍后启动。
3.泵体内有残存负压，不能启动。应泻压启动。
4.泵体刚刚从较冷的室外拿到室内，橡胶皮膜僵硬，待温度升高之后即可正常工作。
泵正常工作，真空度没有或达不到正常值
1.检查过滤装置气密性是否良好。
2.泵芯皮膜上粘有异物，需清洗干净。
3.泵芯皮膜损坏，需更换。
4.泵出气口被液体结晶物堵塞，用针状物体清除外部及出口内部。
5.压力表指示不正确，更换压力表。
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