热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的仪表，区别于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。
一、应用领域：
1、半导体制造行业；
2、分析仪器设备行业；
3、各种形式的真空镀膜设备；
4、环境检测与分析设备；
5、化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业；
6、特种材料表面处理装置与燃烧；
7、混气配气系统和泄露探测系统等。
二、选型注意事项：
1.通过的介质。
热式气体流量计适用于各种气体，包括特殊气体和腐蚀性气体。以腐蚀性气体为例：腐蚀性气体通过流量计的时候如果流量计没有经过特殊处理过，会因为腐蚀性气体的特性，造成密封元件等方面的故障，从而影响到了流量计的正常使用，因此相关特性的介质在选型的时候需特别关注密封材料等信息，如全金属密封，耐氨橡胶等密封材质。另外像氢气、甲烷等可燃性气体需注意气体浓度过高所造成的爆点问题等等。
2.量程范围（或者称之为流量范围）。
在流量计选型的时候，首先要确定所需流量计的量程问题，以HORIBAMETRON（堀场汇博隆）公司产品为例：公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算，非氮气介质时是以氮气与该气体转换系数来换算以确定标定流量。
3.压力范围。HORIBAMETRON流量计耐压范围是3MPa,压差范围为（0.05-0.3）MPa。3MPa以内无需任何补偿可直接安装使用；需注意的是有些行业需要在高压状态下工作，要明确压力范围是否满足。
4.接口通径。
选择接口时需针对管路状况进行选择，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm,1/4″Swagelok(或VCR)，软管接头Ф4mm～Ф10mm等为主。
5.供电电压和控制。
以HORIBAMETRON流量计而言，供电电压有±15V和24V两种。控制接口有9针和15针的，也有9孔和15孔的。
6.通信协议。
相对于数字式流量计而言很多时候都会涉及到通信协议问题，以MODBUS、Profibus、DeviceNet为标准，在选择时注意协议类型。备注（某些行业在选择流量计时模拟控制就可满足要求）需注意。
7.其他相关问题请详细咨询厂家相关技术人员。
热式气体质量流量计是江苏宏仪所生产工业测量的重要仪表当中的一种，现在是随着工业自动化的生产与发展，对其流量仪表测量的准确度一测量范围要求是越来越高了。
流量测量都是大同小异的，为了能适合在各种行业当中有所应用，各种各样的流量计都在使用，目前工业当中所使用的流量计品种已经有很多。
热式气体质量流量计它是在行业中应该较为广泛的一种，其可以分为两种工作的原理，一是恒温差发流量计、二是恒功率法流量计。
从而使气体质量流量计的发展史上可以看出，恒温差式流量计比较先用于工业介质当中的测量，这是因为恒温差式要比恒功率式更加的简单。
所以在其生产热式气体质量流量计的厂家当中，这个是比较简单的，热式流量计实质是利用炉体流动时与固体时间的相交换，就能通过测量热量的传播、移动与平衡来控制流体的流量。
热式气质流量计其恒温差法是在加热元件的温度过高于气体温度，气体在流过流量计时会带走小部分的热量，这样就能保证加热元件与被测气体温度差恒定时存在有一定的温差。
是来测量热源与控制所支持的功率，功率的消耗会随其流量的变化而发生变化，因为功率的消耗是反应出气体的流量。
质量流量计流体的流量与加入电流或是电压会成比例关系，流体的流量越是大，其维持恒定温度差而加入的电流或是电压也就会越大。
那样就能通过实验来标定出加热电流与质量流量的关系，就能通过电流来算出流量的质量流量。
热式气体质量流量计在实际应用中精度及影响精度的因素主要有以下几个方面：
1、精度的概念：
在正常的使用条件下,仪表测量结果的准确程度叫仪表的准确度、习惯上称为精度。
热式气体质量流量计的精度为：±1%读数 + ±0.5%满量程
2、直管段的影响：
直管段不足时，对测量精度有影响，不同的流阻影响的大小不同，提供流阻信息和直管段长度，可计算出偏差大小。
3、水、水汽：
所测介质中含有水或水汽，如果在探头上结有水滴，将会造成测量值偏大。偏差大小是不可计算的。
4、插入深度的影响：
在标定时，传感器的探头在管道的中心线上，如果实际安装时偏离中心线，将会造成测量值有偏差。偏差大小是不可计算的。
5、组份变化：
当所测介质组份发生变化时，将会造成测量值有偏差。提供变化后的组份，可计算出偏差大小。
6、解决措施：
对介质中含有水或水汽的测量，建议采用在水平管道的下半圆斜向上45 度角开孔的安装方式。
针对以上几个方面的因素，我们可以看出热式气体质量流量计在使用过程中，工况环境对产品的影响比较大，还有就是有合理的安装方式，这样才能使得热式气体质量流量计保持其精度。
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