1、激发系统：
　　（1）高能预燃低压火花激发光源+高纯氩气激发气氛：采用高能预燃，大幅降低了样品组织结构对原子化结果的影响
　　（2）高压火花激发光源+高纯氩气激发气氛：采集光强不稳定
　　（3）低压火花激发光源+高纯氩气激发气氛：对同一样品光强稳定，但是对于样品组织结构对原子化的影响无能为力
　　（4）直流电弧激发光源+高纯氩气激发气氛：对样品中的痕量元素光谱分辨率和检出限有好效果。
　　5）数控激发光源+高纯氩气激发气氛：按照样品中各元素的光谱特性，把激发过程分为灵活可调的几个时间段，每段时间只针对某几个情况相近的元素给出较佳的激发状态进行激发，并仅采集这几个元素。把各元素的激发状态按照试验情况进行分类讨论）
　　2、光学系统：
　　（1）帕邢-龙格光学系统（固定光路，凹面光栅及排列在罗兰轨道上的固定出射狭缝阵列）：光学系统结构稳定，笨重，体积大。
　　（2）中阶梯光栅交叉色散光学系统（采用双单色器交叉色散技术，达到了高级次同级的高分辨率，同时又用二次色散解决了光谱的级次重叠问题）：体积小，分辨率高，一般采集接固体成像系统。
　　3、测控系统：
　　（一）测量系统：
　　（1）光电倍增管+积分电路+模数转化电路：一般作为帕邢-龙格光学系统或C-T光学系统的光谱采集器，一个光电倍增管加上之后的电路只能采集一根谱线的强度。
　　（2）CCD/CID检测器+DSP：一般作为中阶梯光栅交叉色散光学系统的采集器，灵敏度略低于光电倍增管，但是可做全谱采集。
　　（二）控制：
　　（1）多层光电隔离的激发控制+光路控制+采集控制
　　（2）采用高抗干扰的通讯协议进行可又数据反馈的高效率控制。
　　4、计算机软件及数据处理系统：
　　（1）内标法
　　（2）通过标准物质绘制曲线。
　　（3）通过PDA技术筛选数据。
　　（4）通过软件通道的测量数据进行背景、以及第三元素干扰的去干扰运算。
　　（5）通过控制样品找回仪器的漂移量。