X荧光光谱仪是根据X射线荧光光谱分析方法配置的多通道X射线荧光光谱仪，能够分析固体或粉状样品中各种元素的成分含量，具有灵敏度高、精密度好、性能稳定、分析速度快等特点。 X荧光光谱仪的原理： X射线管通过产生入射X射线（一次X射线），来激发被测样品。 受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线（又叫X荧光），并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量或者波长。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。 元素的原子受到高能辐射激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有一定特殊性波长的X射线，因此,只要测出荧光X射线的波长或者能量,就可以知道元素的种类，这就是荧光X射线定性分析的基础。
光电直读光谱仪的故障排除，应当是建立在对仪器原理和各模块结构以及功能的充分了解的基础上的。应当首先尽量了解各模块功能，以至各模块内部部件的功能。然后按照如下三条线索，把仪器的硬件在脑中串成网络：
1、信号线路：
从激发台上样品发光开始，到电脑软件中显示出各元素含量为止，了解样品发光的光信号在仪器中各部件的先后经过和转化的顺序，以及每个部件的简单功能。
2、控制线路：
了解计算机中的命令对仪器当中各个受控部件的影响，以及命令的传输途径，途径中每个部件的作用。
3、供电网络：
了解仪器当中所有用电部件所需的准确电压、电流、功率等详细参数、知道仪器用电从仪器总供电插座开始，各部件的用电如何产生、调节和传输。
在详细了解以上情况后，一般情况下，在出现故障时，需首先在信号线路中，找到不能正常工作的模块（每个模块是否能正常工作均有检查方法），然后检查该模块中的信号线路经过部件本身是否状态正常（损毁、位置偏移），受控部件的控制命令传输是否畅通，用电部件的供电是否正常来确定故障点，以至排除问题。
另外，还需要判定损坏部件是否可以自己修复或有备用件可替换，如果不能自行解决，需向制造商的售后服务进行求助。
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