X射线荧光光谱仪由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。 X射线荧光光谱仪的优点都有那些？ 1.分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。 2.X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。 3.非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。 4.X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。 5.X射线荧光光谱仪分析精密度高。 6.制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
光电直读光谱仪的故障排除，应当是建立在对仪器原理和各模块结构以及功能的充分了解的基础上的。应当首先尽量了解各模块功能，以至各模块内部部件的功能。然后按照如下三条线索，把仪器的硬件在脑中串成网络： 1、信号线路： 从激发台上样品发光开始，到电脑软件中显示出各元素含量为止，了解样品发光的光信号在仪器中各部件的先后经过和转化的顺序，以及每个部件的简单功能。 2、控制线路：了解计算机中的命令对仪器当中各个受控部件的影响，以及命令的传输途径，途径中每个部件的作用。 3、供电网络： 了解仪器当中所有用电部件所需的准确电压、电流、功率等详细参数、知道仪器用电从仪器总供电插座开始，各部件的用电如何产生、调节和传输。 在详细了解以上情况后，一般情况下，在出现故障时，需首先在信号线路中，找到不能正常工作的模块（每个模块是否能正常工作均有检查方法），然后检查该模块中的信号线路经过部件本身是否状态正常（损毁、位置偏移），受控部件的控制命令传输是否畅通，用电部件的供电是否正常来确定故障点，以至排除问题。 另外，还需要判定损坏部件是否可以自己修复或有备用件可替换，如果不能自行解决，需向制造商的售后服务进行求助。
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