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打造中国“芯”赛默飞离子色谱保障高纯半导体级试剂 半导体解决方案

时间:2020-05-18    来源:仪多多仪器网    作者:仪多多商城     
  电子行业的发展为现代生活提供了极大的便利,电子芯片更是让整个世界远离了单纯依靠人力的时代。掌握了芯片技术,某种程度上讲就是掌握了现代IT技术的基础。而除了厂房硬件,芯片制造还需要不断消耗的基础高纯化学材料。
 
  7月1日日本对韩国进行半导体制造过程核心材料氟化聚酰亚胺、光刻胶、高纯度氟化氢等产品的出口管制,把高纯化工材料的问题推上了浪尖。赛默飞离子色谱,满足半导体级别试剂的检测要求,协助化工企业提高标准。
 
  电子级HF
 
  电子级HF应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一。根据用途的不同,电子级HF主要分为EL、UP、UPS、UPSS等级别,其中UPSS级别是目前zui高纯度级别。铺建完整的UPSS级HF产线,将使企业处于供应链顶端,拥有较大的话语权。
 
  SEMI标准中,zui别HF中一般要求氯化物、硝酸盐、硫酸盐和磷酸盐浓度不高于0.1mg/kg,企业自定标准中有些已经要求达到0.01mg/kg,基质和目标物浓度差超过10?:1。这不仅挑战着产线工艺水平,亦挑战着分析监测水平。
 
  在高HF基体条件下,如何测定痕量的杂质阴离子呢?
 
  赛默飞二维离子色谱技术方案,被纳入《GBT 31369-2015太阳电池用电子级HF》中,作为推荐分析监测方案。
 
  第yi步 高氟基体的去除
 
  上图说明了二维离子色谱对电子级HF基体去除的原理。电子级HF中大量的氟离子被吸附在离子排斥柱Dionex IonPac ICE-AS6的Donnan膜上,而其他强酸和中强酸的酸根,则先一步流出离子排斥柱,进入到二维离子分析柱中进行分离和测定。整个过程只用超纯水作为流动相,使得电子级HF中的高氟基体得到很好地去除。
 
  第二步 迁移速度快的阴离子进入二维色谱柱进行分离
 
图1 HF样品溶液的离子色谱图
 
  而HF中的氟硅酸,则需在碱性条件下,使其水解并释放出等摩尔的硅酸盐。选用柱后衍生-紫外检测-离子色谱方案,通过对硅酸盐测定,间接测定氟硅酸的含量,消除了高浓度氟离子基体的干扰,并确保其准确定量低至µg/kg级水平。对样品的前处理需求,于稀释,操作简单方便。
 
图2 HF样品中氟硅酸测定谱图
 
  半导体制造用水和表面沾污中痕量离子的分析
 
  超纯水是为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,其电阻率接近18.3MΩ*cm极限值(25℃)。
 
  简单地说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。我们利用双阀切换和在线富集,可以很好的测定超纯水中的ppt级别的痕量阴离子。
 
图3 超纯水在线浓缩富集测定痕量阴离子
 
  通过淋洗液发生器配合双阀切换在线浓缩装置,淋洗液发生器产生的KOH经过抑制后,产物是水,比碳酸盐体系具有较低的背景电导,所以具有更高的检测灵敏度;而通过在线富集,可以实现超大体积进样,得到更低的检测下限。
 
  电子级硝酸
 
  硝酸具有强氧化性、强腐蚀性和强酸性,是半导体行业中常用清洗剂和刻蚀剂,试剂中混杂的痕量氯离子会严重影响半导体器件的质量。
 
  选用赛默飞高容量阴离子交换色谱柱,只需将样品进行简单稀释后进样,完成高浓度硝酸基体和常见阴离子杂质的分离分析。
 
  配置上,使用2台Aquion或ICS6000双系统组成的阀切换系统,便可以轻松应对电子级试剂的杂质分析难题。赛默飞独特的“只加水”技术,无需配制淋洗液和抑制器再生液,极简操作;淋洗液电解产生,无空白污染,高重现性,检出限可达ppt级别。
 
  赛默飞离子色谱,轻松满足半导体级别试剂的检测要求,助力打造中国“芯”!
 
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半导体型测试仪对酒精的检测

  酒精测试仪是一种能够检测气体中酒精含量的检测装置,当这一数值超过0.2mg/ml时,交警就可以判定驾驶者实在违规驾驶。

  半导体型酒精测试仪采用氧化锡半导体作为传感器,这类半导体器件具有气敏特性,当接触的气体中其敏感的气体浓度增加;

  它对外呈现的电阻值就降低,半导体型呼气酒精测试仪就是利用这个原理做成的。

  这种半导体在不同工作温度时,对不同的气体敏感程度是不同的;

  因此半导体型呼气酒精测试仪中都采用加热元件,把传感器加热到一定的温度,在该温度下,该传感器对酒精具有最高的敏感度。

  所以,可以通过键盘来设定不同环境中酒精浓度的不同阀值。

  如果所检测到的空气中的酒精浓度超过了所设定的阀值,那么单片机将会控制蜂鸣器发出声音报警,用来提示危害。

标签: 测试仪
测试仪 半导体型测试仪对酒精的检测_测试仪

半导体激光器使用注意事项

  半导体激光器是用半导体材料作为工作物质的一类激光器,由于物质结构上的差异,产生激光的具体过程比较特殊。

  半导体激光器使用注意事项:

  1、激光器工作时,要佩戴合适的防护器具(防护服、手套、防护镜等),避免激光直射眼睛和皮肤,并注意被照射物体的反射、散射光可能对人造成的伤害。

  2、在使用、贮存、运输过程中要采取防静电措施。操作人员、工作台、烙铁等一定要接地良好。

  3、必须保证激光器的驱动电源在开、关、调节、工作等过程中不产生尖峰脉冲、浪涌,并能够屏蔽电网和空间电磁感应引入的浪涌。

  4、应在额定电流、额定功率下使用,若超额定电流或功率使用,会加速激光器退化或导致激光器的失效。

  5、必须在指定的温度范围内工作,保证良好的散热或制冷。

  6、需要在规定的温、湿度条件下使用、存储、运输,并保证环境的洁净度。避免各种由于环境和操作原因对激光器造成的污染。

  7、光纤输出的半导体激光器,在使用前必须对光纤连接头端面进行清洁处理,保证端面无污染;光纤如需弯折,弯曲直径要大于300倍光纤芯径,以避免光纤的损坏。

标签: 半导体激光器
半导体激光器 半导体激光器使用注意事项_半导体激光器

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