就现代臭氧产品的核心部件臭氧发生器来说，以电晕放电法技术为主流的制取臭氧方法被各类臭氧家电产品采用。

臭氧电源放电法又称无声放电法是以空气通过电晕放电区时候被高速电子轰击氧气，分解成氧原子后又被碰撞形成带3原子氧的臭氧。此法成为目前世界上普遍采用的臭氧发生器制作技术。以下，分析电晕放电过程中的反应情况。臭氧发生器中电晕放电法原理可按步骤分解为：一、e+O2→2O＋e，依据反应式，电子与氧气作用使得臭氧发生器放电区间的氧气分子分解成氧原子，其中电晕作用期间的电子由于高速运动具有6~7eV的动能，组成在臭氧发生器内3体碰撞的条件；二、O+O2+M→O3＋M，经过3体碰撞，使得臭氧在电晕区间的作用形成臭氧气体和其它的气体M。由上述原理步骤可知，电晕放电法臭氧发生器产生臭氧还有其它气体，所以臭氧的净产率是各大企业关注的问题。根据电晕放电法反应原理，影响净产率的因素有气源的氧气含量、臭氧发生器所处的环境温度、气源混杂的污染物、电晕功率密度、冷却系统以及冷却剂或者设备。在臭氧发生器的综合考虑设计中，上面的因素都应具体衡量进行取舍融合，并根据企业产品的应用设计出实用、经济的臭氧发生器。电晕放电法制取臭氧技术之所以成为主流，是因为它投入小、技术条件容易形成。一般来说，采用此种方法的臭氧发生器能产生臭氧气体量达500kg/h以上。