高效空气过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能实验检测（如DOP测试等），并提供合格证(性能实验结果)。对于5级(100级)以上洁净室所使用的高效空气过滤器，在现场应再次进行高效空气过滤器本体的性能检测，同时进行检漏试验以确认高效空气过滤器是否正确安装。在大规模集成电路生产的超洁净技术中(如0.1um，1级)，由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级(1000级)的成都。在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。
1、检测要求
（1）一般采取粒子计数器法进行检漏，被检高效空气过滤器必须已检测过风量，并在设计风速的80%～120%进行。
（2）对于被检高效空气过滤器上风侧的微粒浓度符合下列要求：
对受控微粒≥0.5um的浓度，必须大于等于3.5*104pc/L
对受控微粒≥0.1um的浓度，必须大于等于3.5*106～3.5*107pc/L
2、检测方法
采用扫描法对高效空气过滤器安装接缝和主断面进行检测，监测点应距被测表面20～30mm，测头以5～20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描。粒子计数器的最小采样量大于1L/min。
3、检测设备
（1）光散射粒子计数器
其工作原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系，测量微粒粒径大小。光散射粒子计数器一般由气路系统、光学系统、电路系统和电源等部分组成。
（2）激光粒子计数器
其工作原理与光散射粒子计数器基本相同，但因采用了比光散射粒子计数器强100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒径的检测范围达0.1μm。
（3）凝聚核粒子计数器
它是利用饱和蒸汽让微小粒子凝聚为大粒径粒子，进行微粒粒子浓度测定。工作原理为：采样空气中的微粒，经过温度为35℃的饱和管，然后在温度为10℃的凝聚管内由媒介液进行凝聚，直至增大到能够检测到散射光的粒径为止，其他部分与一般光散射粒子计数器相同。
4、合格标准
GB 50591-2010《洁净室施工及验收规范》中规定，由高效空气过滤器下风侧泄露浓度换算成的透过率来衡量是否合格，其合格标准如下：
对于高效空气过滤器 K′=c2/c1*100%≤2K
对于超高效空气过滤器 K′=c2/c1*100%≤3K
式中，K为过滤器出厂时检测合格的透过率；
K′为过滤器的泄露浓度换算成的透过率；
c1为过滤器上风侧含尘浓度；
c2为过滤器下风侧含尘浓度。
一：多芯反冲洗过滤器结构详述概述
罐体内的横隔板将其分为上下两室，上部为清水区，下部为浑水区，两者完全隔开，横隔板上安装有若干个不锈钢过滤柱。待处理原水经入口进入浑水区，由下向上经横隔板上的布水孔进入过滤柱的内腔。大于过滤柱缝隙的杂质被截留，清水穿过缝隙进入清水区。所有经过滤柱滤过的液体在清水区内汇合，后从出口流出。当杂质在过滤柱内积累到一定厚度时，会使清水区与浑水区之前产生压力差，这时可由差压控制器自动控制反冲机构启动，也可手动启动反冲洗系统，将滤渣除去。
二 :多芯反冲洗过滤器结构详述 特点
1、过滤装备控制系统反应灵敏，运行，可以根据不同水源和过滤精度灵活调整反冲洗压差和时间设定值；
2、过滤装备在反冲洗过程中，各组滤网依次进行反冲洗操作;确保滤网安全、清洗，而其他滤网不受影响，继续过滤；
三：多芯反冲洗过滤器结构详述 应用
滤除湖水、地下水、海水、水库水等原水中的沙粒、藻类等淤积物；
作为膜分离系统的预过滤器；
一：防爆型反冲洗过滤器功能详述概述
反冲洗过滤器液体由进口进入机体过滤器，由滤芯对液体进行过滤，液体中的杂质沉积在不锈钢滤网上，当进口的压力与出口的压力达到设定值时；系统自动启动反冲洗程序；传感器将信息传给配电系统，配电系统接收压力信号引发：反冲洗旋转臂转动；进而对滤芯逐一单个反冲；在压力差的作用下；滤芯内侧的污物被冲掉并通过排污口排出；
二：防爆型反冲洗过滤器功能详述特点
1、排污系统-- 包括电动排污阀、手动排垢阀及相关的管路，电动排 污阀的主要是控制过滤器反冲洗时的排污；手动排垢阀必要时可排除沉积在过滤器底部的杂质。
2、滤芯--过滤器内含有一圈（或多圈）滤芯，反冲洗时仅一只（或一组）在反冲洗外其余仍在过滤。
三：防爆型反冲洗过滤器功能详述应用
脱脂、磷化、清洗液工段过滤；
过滤电泳漆中的颗粒及微量油份；
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