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洁净室的检测与认证--高效空气过滤器检漏过滤器常见问题解决方法

时间：2020-07-25 来源：仪多多仪器网作者：仪多多商城

高效空气过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能实验检测（如DOP测试等），并提供合格证(性能实验结果)。对于5级(100级)以上洁净室所使用的高效空气过滤器，在现场应再次进行高效空气过滤器本体的性能检测，同时进行检漏试验以确认高效空气过滤器是否正确安装。在大规模集成电路生产的超洁净技术中(如0.1um，1级)，由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级(1000级)的成都。在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。
1、检测要求
（1）一般采取粒子计数器法进行检漏，被检高效空气过滤器必须已检测过风量，并在设计风速的80%～120%进行。
（2）对于被检高效空气过滤器上风侧的微粒浓度符合下列要求：
对受控微粒≥0.5um的浓度，必须大于等于3.5*10⁴pc/L
对受控微粒≥0.1um的浓度，必须大于等于3.5*10⁶～3.5*10⁷pc/L
2、检测方法
采用扫描法对高效空气过滤器安装接缝和主断面进行检测，监测点应距被测表面20～30mm，测头以5～20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描。粒子计数器的最小采样量大于1L/min。
3、检测设备
（1）光散射粒子计数器
其工作原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系，测量微粒粒径大小。光散射粒子计数器一般由气路系统、光学系统、电路系统和电源等部分组成。
（2）激光粒子计数器
其工作原理与光散射粒子计数器基本相同，但因采用了比光散射粒子计数器强100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒径的检测范围达0.1μm。
（3）凝聚核粒子计数器
它是利用饱和蒸汽让微小粒子凝聚为大粒径粒子，进行微粒粒子浓度测定。工作原理为：采样空气中的微粒，经过温度为35℃的饱和管，然后在温度为10℃的凝聚管内由媒介液进行凝聚，直至增大到能够检测到散射光的粒径为止，其他部分与一般光散射粒子计数器相同。
4、合格标准
GB 50591-2010《洁净室施工及验收规范》中规定，由高效空气过滤器下风侧泄露浓度换算成的透过率来衡量是否合格，其合格标准如下：
对于高效空气过滤器 K′=c2/c1*100%≤2K
对于超高效空气过滤器 K′=c2/c1*100%≤3K
式中，K为过滤器出厂时检测合格的透过率；
K′为过滤器的泄露浓度换算成的透过率；
c1为过滤器上风侧含尘浓度；
c2为过滤器下风侧含尘浓度。

各类过滤器在设备前，不允许翻开包装袋或包装膜;并按包装箱上标明的方向存放过滤器;在转移过程中，应轻拿、轻放，避免剧烈的振荡和磕碰。在运送、设备及运用过程中，要依照要求进行运用作用。各种过滤器在运用一段时间后，因滤料外表捕集了尘土，从而使过滤器的功率和阻力下降，影响了送风的洁净度，此刻需求及时加以替换过滤器。关于需用于高湿度、高温度环境中的过滤器，有必要选取耐高温、耐高湿度的滤纸。
各类过滤器在设备前，不允许翻开包装袋或包装膜;并按包装箱上标明的方向存放过滤器;在转移过程中，应轻拿、轻放，避免剧烈的振荡和磕碰。在运送、设备及运用过程中，要依照要求进行运用作用。各种过滤器在运用一段时间后，因滤料外表捕集了尘土，从而使过滤器的功率和阻力下降，影响了送风的洁净度，此刻需求及时加以替换过滤器。关于需用于高湿度、高温度环境中的过滤器，有必要选取耐高温、耐高湿度的滤纸与分隔板、框体资料，以满意出产的要求。生物洁净室和医药洁净室，有必要选用金属框体的过滤器，且其外表要不易生锈。不允许运用木框板的过滤器，以防发生细菌，影响产品的合格率。关于以上的过滤器，假定过滤器前后有压差表或压差传感器，则对粗效过滤器，当压差值大于250Pa时，有必要加以替换;对中效过滤器，则压差大于330Pa时，有必要加以替换;关于亚过滤器，则当压差值大于400Pa时，有必要加以替换，且原过滤器不行再利用;关于过滤器，当过滤器的阻力值大于450Pa时;或当出风面气流速度降到低极限，即使替换粗效、中效过滤器后，气流速度仍不能增大;或当过滤器外表出现无法修补的渗漏状况，均须替换新的过滤器;如没有上述条件，一般可根据运用环境条件状况，1—2年替换一次。为了充分发挥过滤器的作用，在选用和运用过程中，过滤器的迎面风速，粗效、中效过滤器不该大于2.5m/s，亚过滤器和过滤器不该大于1.5m/s,这样不只有利于过滤器的功率,也能延伸过滤器运用寿数,节省本钱.在设备运行时,一般不要替换过滤器;如因过滤器已到替换期限而无法停机替换,则只允许在不断风机状况睛替换粗、中效过滤器;亚过滤器和过滤器有必要接连送风后，方可替换;过滤器与联接结构之间的密封垫，有必要紧密、无走漏，以起到过滤作用。

管式过滤器主要是用来去除液体中含有的少量颗粒状物体的设备，可以用来保护压缩机、泵、仪表和其它设备，使其正常的工作，并可以延长设备的使用寿命。

管式过滤器的性能特点介绍

1.高效，精确过滤：

特殊结构的滤盘过滤技术，性能精确灵敏，确保只有粒径小于要求的颗粒才能进入系统，是比较有效的过滤系统；

规格有5μ、10μ、20μ、55μ、100μ、130μ、200μ等多种，用户可根据用水要求选择不同精度的过滤盘。系统流量可根据需要灵活调节。

2.标准模块化，节省占地:系统基于标准盘式过滤单元，按模块化设计,用户可按需取舍,灵活可变,互换性强。

系统紧凑，占地极小，可灵活利用边角空间进行安装，如处理水量300m3/h左右的设备占地仅约6m2(一般水质，过滤等级100μ)。

3.全自动运行,连续出水：

在过滤器组合中的各单元之间，反洗过程轮流交替进行，工作、反洗状态之间自动切换，可确保连续出水;反洗耗水量极少，只占出水量的0.5%；如配合空气辅助反洗，自耗水更可降到0.2%以下。

高速而彻底的反洗，只需数十秒即可完成

4.寿命长：

新型塑料过滤元件坚固、无磨损、无腐蚀、极少结垢，经多年工业实用验证，使用6~10年也没有磨损，不会老化，过滤和反洗效果不会因使用时间而变差。