二、超声波清洗机工作原理:超声波清洗机原理:简单的超声波清洗机由超声波发生器和清洗器(槽)两大部分组成。高频振荡器产生超声频电流,传给换能器(由绕有线圈的环状镍块组成),超声频电流通过换能器线圈时产生电磁场,在电磁场作用下,换能器镍环的直径大小周期性的变化而发生振动,振动频率约20千周。超声波振动通过与换能器连接的液体容器底部而传播到液体内,对产品进行清洗。
三、影响超声波清洗机清洗效果的因素:一般来说,超声效果与超声的条件(如功率、频率、温度、压力)及超声时间有关,与清洗液的选择也有关。例如,在外延生长前对硅片采用洗液、硫酸和水的超声清洗时,超声功率高于250W时才能达到较好的清洗效果。
四、超声波清洗机使用方法:不同型号的超声波清洗仪,在使用上有不同的要求,应按清洗机说明书的要求进行安装使用,使用方法大概如下:
1.先将发生器和清洗槽连接好,接上电源。2.清洗槽内倒入清水,约20—40毫米深。3.打开电源开关,指示灯亮,预热1—2分钟后可开始工作(有的机器要先开低压,预热10分钟后,再开高压开关)。4.旋转功率调节旋钮,使振动和气泡大,此时指示电流表读数也接近大。然后再调节功率,使清洗机进入正常工作。5.把盛有硅片和清洗液的烧杯放入清洗槽中,即可进行硅片的清洗。
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