四探针电阻测试仪对仲裁测量，报告还应包括对探针状况、电测装置的精度、所测原始数据及处理结果。

接通电流，令其任一方向为正向，调节电流大小见表1所给出的某一合适值，测量并记录所得数据。所有测试数据至少应取三位有效数字。 改变电流方向，测量、记录数据。关断电流，抢起探针装置，对仲裁测量，探针间距为1.59 mm，将样品分别旋转30°±5'，重复8.4～~8.7的测量步骤，测5组数据，测量结果计算

将操针下降到试样表面测试，使四探行针尖端阵列的中心落在试样中心1.00mm范围内。 

对于薄层厚度小于3μm的试样，选用针尖半径为 100 μm~250 μm的半球形探针或针尖率径为50 μm～125 pm平头探针，针尖与试样间压力为0.3 N~0.8Ni对于薄层厚度不小于3μ的试样，选用针尖半径为 35 μm~100 pm 半球形操针，针尖与试样间压力不大于0.3 N.

用干净涂题颗子或吸笔将试样置于样品台上，试样放置的时间应足够长，达到热平衡时，试样温度为23 ℃±1℃.

测量条件和步骤整个测试过程应在无光照，无离频和无振动下进行。

化学实验室器具，如;塑料烧杯，量杯和适用于酸和溶剂的涂塑慑子等。试样制备如试样表面洁净，符合测试条件可直接测试，否则，按下列步骤清洗试样后测试∶试样在甲醇中源洗1min。如必要，在甲醇中多次源洗，直到被干燥的试样无污迹为止。将试样干燥。 放入氢氟酸中清洗1 min。 用纯水洗净。 用甲醇源洗干净， 用氮气吹干。

GB/T 11073 硅片径向电阻率变化的测量方法提要

下列文件中的条款通过本标准的引用商成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的新版本。凡是不注日期的引用文件，其新版本适用于本标准。 GB/T 1552 硅、储单晶电阻率测定 直排四探针法

本标准适用于测量直径大于15.9mm的由外延、扩散、离子注人到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层，方块电阻的测量范围为10A~5000n.该方法也可适用于更高或更低照值方块电阻的测量，但其测量精确度尚未评估。

范围本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。

在中国标准分类中，四探针法涉及到半金属与半导体材料综合、金属物理性能试验方法、、、电工合金零件、特种陶瓷、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、电阻器、半导体集成电路、工程地质、水文地质勘察与岩土工程、水环境有毒害物质分析方法、电工材料和通用零件综合、半金属、元素半导体材料、金属无损检验方法。

国际标准分类中，四探针法涉及到半导体材料、金属材料试验、绝缘流体、兽医学、复合增强材料、电工器件、无损检测、集成电路、微电子学、土质、土壤学、水质、电子显示器件、有色金属。

GB/T 6617-1995 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

GB/T 1551-1995 硅、锗单晶电阻率测定 直流两探针法

GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法

GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法

标配：测试平台一套、主机一套、电源线数据线一套。

电源：220±10% 50HZ/60HZ 

显示方式：液晶显示

主机外形尺寸：330mm*340mm*120mm

误差：±0.2%读数±2字

量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA,?

电流输出：直流电流?0～1000mA?连续可调，由交流电源供电。

分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV

测量精度±（0.1%读数）

测量电压量程：?2mV?  20mV? 200mV?2V?

测量误差±5%

分辨率：  最小1μΩ

电导率：5×10-6～1×108ms/cm

电阻：1×10-5～2×105Ω

电阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

电阻测量范围：

提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求

本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、压强值、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电导率。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电导率单位自动选择，BEST-300C 材料电导率测试仪自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成图表和报表。

适用范围四端测试法是目前较先进之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

BEST-300C

导电材料电阻测试仪