真空泵是真空干燥箱的必备配件之一,客户选用真空泵时,需要注意下列事项:
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
1.无油真空泵是一种无需任何油作润滑既能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。与油泵相比,无油真空泵真空度低,抽气量小,但体积小巧,易于安装,维护简单,移动方便,不产生油烟,不污染环境,尤其在要求较高的实验室使用较好,也是实验室最常备的设备之一。
功率相对较小,压力小,真空度也没那么高,噪音也小,但是不耗油,叶片或活塞不直接与所属送的液体接触,一般也没有特殊的散热系统,连续工作时间没有油泵长。
2.有油真空泵是通过油来密封,润滑,降温,这个类型的真空泵可以接受一点水分,而无油真空泵由于叶片材质多是石墨制作的,如果遇到水分,就容易膨胀,损坏,但是无油真空泵用起来比较干净,在一些环境要求比较高的地方可以使用。
一般功率较大,压力大,真空度高,噪音也大,耗油,叶片或活塞直接与所属送的液体接触,油会进入所输送的液体里,所以存在一定污染,油可以起润滑和散热作用,所以可以连续工作很长时间。
真空泵维修保养应该关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。点动电机,试看电机转向是否正确。
开动电机,当真空泵正常运转后,打开出口压力表和进口真空泵,视其显示出适当压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负荷的真空泵维修保养情况。
真空泵的维修注意事项:
1、切断电源,拔下电源插头。该泵如在系统上,应当从设备上取下。
2、拧开放油螺栓放油,用手盘动皮带轮,使泵腔内余油全部放出。油应收集好,一般是在真空泵底板下放一铁制油盘或磁盘等(通称方盘)收集,以便于今后蒸馏回收和免于污染环境。
3、拆下皮带,卸下皮带轮、键,脱开底板,视电机好坏程度(如发热、过脏、有干磨的噪音,振动较大等)应予修理或送电工洗油修理。
4、先拆低真空端盖板(后端盖板,即远离泵轮的一端),拆卸时根据不同螺钉使用不同的工具。
对于一般六角螺钉可用呆扳手,内六角螺钉要用内六角扳手,必要时要使用套筒扳手,这样不会损坏螺钉。拧开端盖板螺钉后,轻启端盖板。端盖板如密合得很紧,则应慢慢设法起开。
例如,可用锉刀在泵腔与端盖板合缝处锉一小槽,然后用起子(改锥)插于小槽处用手敲起子把手,亦可用小锤轻敲起子以退出端盖板,切不可重锤敲打。
5、用橡皮垫圈密封的则取下橡皮垫圈,退出定位销。
6、取出转子及旋片。通常在低转子端而设有两个攻了丝的孑匕用丝杆拧入此孑匕便很容易地拉出低转子
了。但要注意拉出转子时一定要用手捏紧旋片,因旋片受弹簧力较大,一不小自容易脱手飞出,掉于地上或碰到硬物,碰坏旋片棱角及表面造成无端报赓。
7、拆卸高真空端,拿出高转子和旋片。此时,只需用手捏紧旋片和轴即可取出转子。
8、动手拆泵以前,应事先了解清楚待拆修泵的结构特点、各零部件大致属哪种结构型式。
例如,对那些本身属于组合件的部件,如某些旋片泵的转子等,则不要拆卸,可对其表面作适当的修正调整;如果组合转子内落入玻璃屑、金属异物伤了腔体或本身旋片槽已磨损过多,需修换配件时,则可拆卸,但要小心记住其装配方法。
9、每拆下一个部件,都要检查其精度和光洁度以及损坏情况。旋片及转子两头的棱角要特别注意检查其有否损坏,并作好记录。
对于业务尚不太熟悉的修泵者,则更应逐步记住各部件、零件的原装配位置,作好记录,以防重装时记不清搞错。
同时,拆下的零部件不可乱放,堆彻,碰伤,丢失。将其放于一个方磁盘里,也可放于木盒中并清洗干净,以绸布盖上。