在设计上，X射线荧光光谱仪在不进入测试界面测试时，不会发出任何电离辐射（即X射线）。对于一个给定的辐射源，三个因素决定了人体所接受的辐射剂量：
1、受照射时间
受照射的时间越长，人体所接受的辐射剂量也就越大。辐射量与受照射时间成正比。
2、与辐射源的距离
离辐射源越近，所受的辐射剂量就越大。所接受的辐射剂量与辐射源的距离的平方成反比。例如，距离辐射源1英尺所接受到的辐射量是距离辐射源3英尺所接受到的辐射量的9倍。因此，当仪器快门打开时，应保证手和身体的各个部位远离仪器的前端，以使所受的辐射量减至最小。
3、辐射屏蔽
屏蔽指的是任何介于操作者和辐射源之间的材料。屏蔽材料越多，材质密度越大，所受到的辐射就越少。可选购测试架作为测试样品过程中一种附加的屏蔽装置，反向散射屏蔽附件也十分有效，对于某些应用特别适合。
X射线荧光光谱仪被广泛用于冶金、地质、矿物、石油、化工、生物、医疗、刑侦、考古等诸多部门和领域，也是野外现场分析和过程控制分析等方面仪器之一。
X射线荧光分析仪在日常使用中的注意事项：
1、X射线荧光分析仪从根本上来说是一种相对测量仪器，因此在使用过程中，需要定期对仪器进行标定和校准。
2、为保证有害元素含量的控制效果，X射线荧光分析仪的测量数据应与其他的测量手段结合起来使用；X射线荧光分析仪更适合生产过程的监控，甚至可以说：在生产过程中对有害元素含量的监控，X射线荧光分析方法是目前唯一可行的分析手段；而有害元素含量的最终裁定，则不应该仅仅依靠单一的测量手段。
3、被测量样品的处理与测量精度的关系：
从X射线荧光分析理论上说，对被测量样品进行必要的处理是必须的；一般来说，样品处理的越好，则测量精度就会越高，测量结果越可靠。在实际使用过程中，我们应该尽量对被测量样品进行必要的物理处理。
在测量不规则的样品时，虽然从X射线荧光分析方法上可以对测量进行技术上的校正，从而满足实际测量的需要；但这样做所付出的代价是牺牲测量精度和测量数据的可靠性。
X射线荧光光谱仪分为波长色散、能量色散、非色散X荧光、全反射X荧光。X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。
光谱室和样品室的真空抽不到规定值
故障分析：X射线荧光光谱分析通常在真空光路条件下工作，但光谱室和样品室有很多部位与外部相连，可能漏气的部位很多。检查真空故障时，将可能出问题的地方人为分隔为三部分：真空泵、样品室、光谱室，对这三部分逐一检查以缩小范围。
真空泵
将真空泵与光谱室和样品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在几秒钟内抽到规定值，可以排除真空泵出现故障的可能性。如果能抽到规定值但时间较长，可能是真空泵的效率降低，这种情况一般发生在经常分析压片样品和油品的仪器上，粉末或油被吸到真空泵油中，改变了油的粘度，这时需更换真空泵油。
样品室
样品室常见的漏气部位是样品自转装置上的密封圈，样品测量时通常以0.5转/秒的速度自转，仪器几年运行下来，样品自转处的密封圈磨损，密封效果变差。
光谱室
光谱室常见的漏气部位是流气，流气计数器安装在光谱室内，有一根入气管和一根出气管与外界相通，流气计数器的窗膜很薄，窗膜漏气，就会影响光谱室真空。检查方法：将入气管和出气管用一根软管连接，使流气计数器与外界隔绝，然后抽真空。
检查真空故障，在拆卸和安装时，要小心操作，不要让灰或头发掉到密封圈上，以避免产生新的漏气点，安装时可以在密封部位涂一点真空油脂。
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