气体质量流量计低压损的流道的设计，使之适合于医疗呼吸类的应用。
以良好的精度和快速响应时间双向测量高达200slm的空气及其他无腐蚀性气体的流量。
该传感器以2kHz的更新率输出14位数字信号。信号经内部线性化和温度补偿。
此流量计以5Vdc电源电压工作，其数字I2C接口便于直接连接微控制器。
气体质量流量计卓越性能基于Sensirion的~CMOSens技术，它将传感器元件、信号处理和数字校准集成在一个微小芯片上。
气体流速由热式传感器元件测量，以提供优于其他流量测量技术的扩展动态范围和增强的长期稳定性。
依赖该成熟的CMOSens?技术，SFM3000非常适合于高品质批量生产，是要求苛刻和成本敏感的OEM应用的理想选择。
气体质量流量计性能参数
低压降＜6mbar@200sml
流量范围：±200slm（双向）
精度1.5%m.v.
超快速响应时间
数字校准和温度补偿
数字输出（IC）
应用
呼吸机、麻醉机、吸药器及其他医疗器械
过程自动化
燃烧器控制
燃料电池控制
光谱
环境监测
实验室（分析仪器）
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热式气体质量流量计是江苏宏仪所生产工业测量的重要仪表当中的一种，现在是随着工业自动化的生产与发展，对其流量仪表测量的准确度一测量范围要求是越来越高了。
流量测量都是大同小异的，为了能适合在各种行业当中有所应用，各种各样的流量计都在使用，目前工业当中所使用的流量计品种已经有很多。
热式气体质量流量计它是在行业中应该较为广泛的一种，其可以分为两种工作的原理，一是恒温差发流量计、二是恒功率法流量计。
从而使气体质量流量计的发展史上可以看出，恒温差式流量计比较先用于工业介质当中的测量，这是因为恒温差式要比恒功率式更加的简单。
所以在其生产热式气体质量流量计的厂家当中，这个是比较简单的，热式流量计实质是利用炉体流动时与固体时间的相交换，就能通过测量热量的传播、移动与平衡来控制流体的流量。
热式气质流量计其恒温差法是在加热元件的温度过高于气体温度，气体在流过流量计时会带走小部分的热量，这样就能保证加热元件与被测气体温度差恒定时存在有一定的温差。
是来测量热源与控制所支持的功率，功率的消耗会随其流量的变化而发生变化，因为功率的消耗是反应出气体的流量。
质量流量计流体的流量与加入电流或是电压会成比例关系，流体的流量越是大，其维持恒定温度差而加入的电流或是电压也就会越大。
那样就能通过实验来标定出加热电流与质量流量的关系，就能通过电流来算出流量的质量流量。
热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的仪表，区别于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。
一、应用领域：
1、半导体制造行业；
2、分析仪器设备行业；
3、各种形式的真空镀膜设备；
4、环境检测与分析设备；
5、化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业；
6、特种材料表面处理装置与燃烧；
7、混气配气系统和泄露探测系统等。
二、选型注意事项：
1.通过的介质。
热式气体流量计适用于各种气体，包括特殊气体和腐蚀性气体。以腐蚀性气体为例：腐蚀性气体通过流量计的时候如果流量计没有经过特殊处理过，会因为腐蚀性气体的特性，造成密封元件等方面的故障，从而影响到了流量计的正常使用，因此相关特性的介质在选型的时候需特别关注密封材料等信息，如全金属密封，耐氨橡胶等密封材质。另外像氢气、甲烷等可燃性气体需注意气体浓度过高所造成的爆点问题等等。
2.量程范围（或者称之为流量范围）。
在流量计选型的时候，首先要确定所需流量计的量程问题，以HORIBAMETRON（堀场汇博隆）公司产品为例：公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算，非氮气介质时是以氮气与该气体转换系数来换算以确定标定流量。
3.压力范围。HORIBAMETRON流量计耐压范围是3MPa,压差范围为（0.05-0.3）MPa。3MPa以内无需任何补偿可直接安装使用；需注意的是有些行业需要在高压状态下工作，要明确压力范围是否满足。
4.接口通径。
选择接口时需针对管路状况进行选择，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm,1/4″Swagelok(或VCR)，软管接头Ф4mm～Ф10mm等为主。
5.供电电压和控制。
以HORIBAMETRON流量计而言，供电电压有±15V和24V两种。控制接口有9针和15针的，也有9孔和15孔的。
6.通信协议。
相对于数字式流量计而言很多时候都会涉及到通信协议问题，以MODBUS、Profibus、DeviceNet为标准，在选择时注意协议类型。备注（某些行业在选择流量计时模拟控制就可满足要求）需注意。
7.其他相关问题请详细咨询厂家相关技术人员。
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