三坐标测量机的组成比较复杂，主要有机械部件、电气控制部件、计算机系统组成。平时我们在使用三坐标测量机测量工件的同时，也要注意机器的保养，以延长机器的使用寿命。
下面重点说明压缩空气维护保养和导轨维护保养。
压缩空气保养
由于压缩空气对三坐标测量仪的正常工作起着非常重要的作用，所以对气源的维修和保养非常重要。其中有以下主要项目：
1、每天使用三坐标测量仪前检查管道和过滤器，放出过滤器内及空压机或储气罐的水和油。
2、一般3个月要清洗随机过滤器和前置过滤器的滤芯。空气质量较差的周期要缩短。
因为过滤器的滤芯在过滤油和水的同时本身也被油污染堵塞，时间稍长就会使测量机实际工作气压降低，影响三坐标测量仪正常工作。一定要定期清洗过滤器滤芯。
导轨维护保养
三坐标测量仪的导轨是测量机的基准，只有保养好气浮块和导轨才能保证测量机的正常工作。三坐标测量仪导轨的保养除了要经常用酒精和脱脂棉擦拭外，还要注意不要直接在导轨上放置零件和工具。
尤其是花岗石导轨，因其质地比较脆，任何小的磕碰会造成碰伤，如果未及时发现，碎渣就会伤害气浮块和导轨。要养成良好的工作习惯，用布或胶皮垫在下面，保证导轨安全。
工作结束后或上零件结束后要擦拭导轨。每天都要擦拭导轨油污和灰尘，保持气浮导轨的正常工作状态。
三坐标测量机对使用环境的要求是非常之高的，必须要每个条件都达到，才能顺利的完成三坐标的测量任务。
稍有偏差，将会使三坐标测量仪的测量结果是差之毫厘，谬之千里。
使用三坐标测量机的环境要求
1、湿度
原则上湿度并不会影响三坐标的测量精度，但如果测量环境湿度较高，会对电子机器零件产生不良影响，严重时会产生锈迹。
2、温度
为了确保三坐标测量机发挥测量的优势，测量场所处于恒温的环境特别重要;
根据相关规定，精密测量环境之标准状态中规定标准温度状态1级理想温度为20℃±1℃，而温度变化量为8小时2℃为基准，此也是实验室的温度标准。
如果温度过高或过低，会使样品产生膨胀或者缩收，从而导致测量误差。
3、机台搬运路径
三次元测量机的安装场所与搬运路径及搬运工具请事前规划准备。门宽、门高与三坐标测量仪安装场地需高度等事先完成以便搬运及安装。
4、地面震动
当震动在10Hz以下时，振幅必须在2μP-P以下。当在10Hz～50Hz振动时，加速度必须在0.4qal以下。
建议安装场所尽可能远离冲压床机器或大型卡车通路等震动源，必要时应该建造防震地基，以此确保机台精度矫正测量误差。
5、电流与电压
部位地区可能电流与电压品质比较不稳定，这种情况一般需要加装稳压器和UPS。三坐标测量仪使用220V电压，要保证有五至六插座电源。
6、气源
三坐标测量仪是使用空气轴承作动，对与空气品质上要求较高。
因此建议可以给予独立气源气压稳定于0.45MPa以上，并且加强三联式滤水滤油器，以确保气源干净增加机器寿命。将Φ8mm管线快速接头设置在放置三坐标测量仪机台附近。
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