X荧光光谱仪适用于工厂来料及制程控制中的有害物质检测，铅(Pb)、汞(Hg)、镉(Cr)、铬(Cd)、溴(Br)、氯(Cl)控制的利器。无损检测，可对电子电气设备，玩具指令中的有害物质进行定性定量分析。
X荧光光谱仪优势:
a)分析速度快。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
b)X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。(气体密封在容器内也可分析)但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。
c)非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
d)X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
e)分析精密度高。
f)制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
X荧光光谱仪劣势：
a)难于作绝对分析，故定量分析需要标样。
b)对轻元素检测的灵敏度要低一些。
c)容易受相互元素干扰和叠加峰影响。
X射线荧光分析技术（XRF）作为一种快速分析手段，为相关部门提供了一种可行的、低成本的并且及时的检测、筛选和控制有害元素含量的有效途径。
相对于其他分析方法，XRF具有无需对样品进行特别的化学处理，快速、方便、测量成本低等明显优势，特别适合用于各类相关部门作为过程控制和检测使用。
X射线荧光光谱仪的维护保养：
1、X射线荧光光谱仪中最昂贵的部分是高压X射线光管，它是仪器的核心部件。X射线光管对冷却水的温度、压力、电导率都有严格的要求，其较佳冷却水温为22℃～24℃，一般不能超过30℃，超过35℃则使用寿命会大大降低。
内部循环水用于冷却阳极靶附近的光管头部分，因此要求内部循环水为电导率很低的去离子水（必须保证该冷却水的电导率＜2μs／cm），以防高压击穿导致x射线光管损坏。
2、分光晶体是具有把X射线荧光按波长顺序分开成光谱作用的晶体。影响分光晶体稳定性的因素有：温度、湿度、酸碱度等。
3、探测器性能一般用波高分布曲线的半宽高来衡量，若半宽高增大则说明分辨能力下降，检测器品质变坏。
4、真空系统是X射线荧光光谱仪的重要组成部分。对于真空泵，主要是应该定期检查真空泵油的油质和油量，检查油质时如果有白色或黑色，就说明油质不正常，应该立即更换泵油。
X射线荧光光谱仪属于大型分析仪器，它主要由以下几部分组成：
（1）X射线系统（X射线光管、高压变压器、管压管流控制单元）；
（2）水循环冷却系统（内外部冷却水单元、温度、电导率控制监测单元）；
（4）真空系统（真空泵、样品室）；
（5）检测系统（光谱室、分光晶体、衰减器、狭缝、测角仪、晶体交换器等）；
（6）检测记录系统（流〈充〉气正比计数器和闪烁计数器、脉冲高度分析器等）；
（7）数据处理系统。
首先，我们必须注意的是X射线荧光光谱仪对周围环境的要求较高，实验室内要保证恒温、恒湿（22度左右、湿度60%以下），特别是在南方潮湿的天气环境下，更要特别注意。
仪器实验室必须安装空调设备，仪器的使用环境中，不能有酸雾存在，也就是说，XRF仪器不要和化学实验室在同一个房间内。因为X光管和探测器都有用金属铍做的窗口，金属铍很容易被酸腐蚀。其次是实验室要环境清洁，保证电源稳定，避免震动。为了仪器正常运转，仪器还必须有独立地线。
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