高温四探针测试仪可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率和外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其他导电薄膜的方块电阻。
高温四探针测试仪的测量原理
测量电阻率的方法很多，如三探针法、电容-电压法、扩展电阻法等，四探针法则是一种广泛采用的标准方法，高温四探针测试仪采用经典直排四探针原理，同时采用了双电测组合四探针法。
经典的直排四探针法测试电阻率，要求使用等间距的探针，如果针间距离不等或探针有游移，就会造成实验误差。当被测片较小或在大片边缘附近测量时，要求计入电场畸变的影响进行边界修正。
采用双电测组合四探针的出现，为提高薄膜电阻和体电阻率测量准确度创造了有利条件。
高温四探针测试仪采用双电测组合四探针法的优势
采用双电测组合四探针法进行测试，测试结果与探针间距无关，能够消除间距不等及针尖机械游移变化的影响，因此四探针测试台允许使用不等距探针头。
采用双电测组合四探针法具有自动修正边界效应的功能，对小尺寸被侧片或探针在较大样品边缘附近时，不需要对样品做几何测量，也不需要寻找修正因子。
采用双电测组合四探针法，不移动四探针针头，同时使用三种模式测量，既可计算得到测试部位的电阻均匀性。
在臭氧测试仪运行过程中难免遇到一些故障问题，其实很多都不是什么大问题。
一、臭氧测试仪故障问题：做试验时，臭氧浓度显示值不能稳定控制数值范围，出现或高或低的现象;
解决方案：变送器在出厂前要经过几十个小时的极化，经确认稳定后方可出厂，一般出现这种情况多是在安装变送器时，变送器与箱体有连接处，只要做好变送器与箱体的绝缘即可;
二、臭氧测试仪故障问题：做试验时，臭氧发生器一直在工作，显示的数值也一直上升、控制不住;
解决方案：出现此现象一般是固态输出信号不对或者是固态继电器断不开
三、臭氧测试仪故障问题：开机后30秒二次表没有臭氧浓度值显示、只有上限或下限显示;
解决方案：
1.出现上限一般是没有4-20mA信号输入，检查臭氧变送器是否有24V供电→4-20mA输出线路→传感器与主板的连接线是否脱落或松动;
2.出现下限可能是变送器零点过低，可调整零点(调零点：打开前盖用特小改锥看清ZERO电位器逆时针慢慢调，直至二次表显示数值);
3.打开变送器前盖，把万用表调至电压档测量上面的两根铜针(零点电压应为40mV)如果过高或过低，把它调整到40mV，调整方法按2里面调零点的方法;
恒温恒湿测试仪是航空、汽车、家电、科研等领域必备的测试设备，用于测试和确定电工、电子及其他产品及材料进行高温、低温、湿热度或恒定试验的温度环境变化后的参数及性能。 1、假如实验样品和资料体积过大，或实验目标放置在恒温恒湿测试仪作业室内的方位或方法不合适，使里边空气对流受阻，也会发生较大的温度均匀度的误差。 2、作业室内实验目标空间的组织：假如恒温恒湿测试仪作业室内放置了满足影响内部全体热对流的实验样品，必然会在必定程度 上影响内部温度的均匀性。 3、规划上的疑问致使恒温恒湿测试仪在内部构造、空间的规划很难到达均匀的对称构造，而不对称的构造必然会致使内部温度均 匀度发生误差。 4、因为作业室的箱壁前后左右上下6个面的传热系数不一样，有的有穿线孔、检查孔、测验孔等致使部分有散热、传热，使箱体温 度不均匀，然后使箱壁幅射对流传热也不均匀，影响温场均匀。 5、箱体和门的密封性不严，比方：密封条费定制的有接缝，大门漏气等，然后影响作业空间的温场均匀。 6、因为恒温恒湿测试仪内壁构造的不一样，形成实验箱内壁的温度也会不均匀，进而影响作业室内的热对流，形成内部温度均匀度发生误差。
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