1、降低接口温度、离子源温度、四极杆温度（以四极杆质谱仪为例），关闭质谱仪电源。　　2、打开卸压阀，缓慢卸压到常压。　　3、打开离子源舱门（此步骤开始可以佩带口罩以及不掉毛手套）。　　4、使用专用工具按照拆卸步骤将离子源整体取出放置在的清洗台面。　　5、使用专用工具将离子源各部件一一拆开，分类整齐放置在清洗台面，不需要抛光打磨的部件（如加热快、绝缘体等）分开放置。（此后可脱掉手套）　　6、将一定量的专用氧化铝粉放入100ml烧杯中，加入甲醇，刚好覆盖为好。　　7、使用专用棉签蘸上湿润的氧化铝粉轻轻打磨推斥极、离子源体、透镜等金属部件，直至光亮为止，注意不要过于用力造成部件表面出现明显划痕。　　8、可先使用自来水冲洗打磨部件，再使用甲醇将氧化铝粉充分冲洗干净。　　9、将离子源所有部件（除了灯丝、加热电缆等外）放置于适当烧杯中，加入甲醇盖过，超声5~10分钟。　　10、超声后换一个烧杯放置部件，然后在烘箱中70度烘烤30分钟，待完全干燥后冷却至室温。　　11、（佩带洁净不起毛手套）将干燥并冷却后的部件放置到一块新的洁净无纺布上面，分类放置。　　12、使用专用工具将各部将一一组装起来。　　13、将组装好的离子源安装到质谱仪上。