热式气体质量流量计选项注意事项 气体质量流量计如何操作

    热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的仪表，区别于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。

    一、应用领域：

    1、半导体制造行业；

    2、分析仪器设备行业；

    3、各种形式的真空镀膜设备；

    4、环境检测与分析设备；

    5、化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业；

    6、特种材料表面处理装置与燃烧；

    7、混气配气系统和泄露探测系统等。

    二、选型注意事项：

    1.通过的介质。

    热式气体流量计适用于各种气体，包括特殊气体和腐蚀性气体。以腐蚀性气体为例：腐蚀性气体通过流量计的时候如果流量计没有经过特殊处理过，会因为腐蚀性气体的特性，造成密封元件等方面的故障，从而影响到了流量计的正常使用，因此相关特性的介质在选型的时候需特别关注密封材料等信息，如全金属密封，耐氨橡胶等密封材质。另外像氢气、甲烷等可燃性气体需注意气体浓度过高所造成的爆点问题等等。

    2.量程范围（或者称之为流量范围）。

    在流量计选型的时候，首先要确定所需流量计的量程问题，以HORIBAMETRON（堀场汇博隆）公司产品为例：公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算，非氮气介质时是以氮气与该气体转换系数来换算以确定标定流量。

    3.压力范围。HORIBAMETRON流量计耐压范围是3MPa,压差范围为（0.05-0.3）MPa。3MPa以内无需任何补偿可直接安装使用；需注意的是有些行业需要在高压状态下工作，要明确压力范围是否满足。

    4.接口通径。

    选择接口时需针对管路状况进行选择，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm,1/4″Swagelok(或VCR)，软管接头Ф4mm～Ф10mm等为主。

    5.供电电压和控制。

    以HORIBAMETRON流量计而言，供电电压有±15V和24V两种。控制接口有9针和15针的，也有9孔和15孔的。

    6.通信协议。

    相对于数字式流量计而言很多时候都会涉及到通信协议问题，以MODBUS、Profibus、DeviceNet为标准，在选择时注意协议类型。备注（某些行业在选择流量计时模拟控制就可满足要求）需注意。

    7.其他相关问题请详细咨询厂家相关技术人员。

    热式气体质量流量计虽然有很多的优势，但也有缺点；

    比如：只能测量干燥的气体，如果气体内含有较大水汽，示值将偏大，初步的判断标准是管道内不会形成凝结水的气体均可以测量；

    气体组分变化频繁且测量精度要求高的气体不适合测量；气体内粉尘含量较高且测量精度要求高的气体不适合测量。

    热式气体质量流量计的特点

    （1）热分布式质量流量计的主要特点：直接测量质量流量无需温压补偿；

    非接触式，无活动部件，无阻流件，压力损失小，可靠性高；可测量低流速微小气体流量，最低5mL/min（标准状态）；

    要求气体介质干燥洁净，不含水分、油等杂志；

    分流型可获线性特性，可用于测量大、中气压流量，使用时要保证分流温度；动态响应慢，时间常数5s左右。

    （2）浸入式热式质量流量计的主要特点：直接测量质量流量无需温压补偿；无活动部件，可靠性高；

    适用于大口径、非圆截面管道、现场空间狭窄处测量（插入式）；

    检测作为带不锈钢外壳的铂电阻传感器，对于其他中的粉尘、固体颗粒、油分、水分不敏感。

    插入式可以不断流取出维修更换。可用于测量脏污流体测量。

    2、热式气体质量流量计的选用

    （1）针对小、微量气体流量，热分布式质量流量计可用于单一组分气体或固定比例的混合气体测量。

    （2）大口径流量测量中可选用插入式浸入式热式质量流量计。

    3、热式气体质量流量计安装使用注意事项

    （1）安装姿势方面，大部分热式分布式的质量流量计可任何姿势（水平、垂直或倾斜）安装；

    只要在安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整；

    但是有些仪表则对安装姿势敏感。

    大部分浸入式热式质量流量计性能不受安装姿势影响，但是在低流速时要严格按说明书进行。

    （2）前直管段方面，热分布式不敏感，而带测量管的浸入式流量传感器和插入式仪表需要一定长度前直管段，按制造厂建议安装。

    （3）连接热式质量流量计的管道在常见范围内的振动不会产生振动干扰；

    而插入式热式质量流量计的检测杆必须固定于管道并避开振动场所。

    （4）热式质量流量计响应时间长，不适用于脉动流

    第一步：地址码设置
    按下流量计的调位按钮3秒钟，即时流量窗口出现‘Ad01’（‘Ad01’表示流量计与计算机通讯的地址码，可从01设置到最大99），并且‘0’在闪动，若‘0’位地址码需要变更时，按调数按钮设置所需要的数值，若不需变更，再按一次调位按钮跳位，然后根据需要按调数按钮变换数值，设置完毕后按一下调位按钮，上限指示灯亮，表明地址码设置完毕。
    第二步：即时流量上限设置
    上限指示灯亮时，千位‘0’在闪动，开始设置即时流量上限的参数，若需要变更千位，可按调数按钮变换数值，若不需要变更，再按一下调位按钮跳位（百位、十位、个位以此为推）四位数值逐一设置完毕后，按下调位按钮，下限指示灯亮，表明即时流量上限设置完毕。
    第三步：即时流量下限设置
    下限指示灯亮时，千位‘0’在闪动，开始设置即时流量下限的参数，其操作同上，最后再按一下调位按钮，上限指示灯亮，表明即时流量下限设置完毕。
    第四步：压力上限设置
    上限指示灯亮，千位‘0’闪动，开始设置压力上限的参数，操作同上，最后再按一下调位按钮，下限指示灯亮，表明压力上限设置完毕；
    第五步：压力下限设置
    下限的指示灯亮，千位‘0’闪动，开始设置压力下限的参数，操作同上，最后按一下调位按钮，压力下限设置完毕。
    第六步：此时设置的即时流量上限、压力上限同时闪动，再按一下调位按钮，即时流量下限、压力下限同时闪动，再按一下调位按钮，即时流量显示地址码、累计流量显示bAUd9600、压力显示0000。至此流量计参数设置完毕。若需改变设置，操作同上。