体视显微镜的照明装置大致分为透射照明装置和落射照明装置。
透射照明装置又可分为普通透射照明、夹缝透射照明和投射斜照明。透射照明一般用于观察透明的标本,比如卵细胞,胚胎发育等等。照射时,光从下往上透过样品,体视显微镜光源一般采用冷光源照明。一般高档的透射底座都是冷光源(通过光纤传导光,灯泡发的热量不会传导到样本上,所以叫冷光源)。这种照明底座能够提供明亮有效的照明,对比度可进行连续调节,具备具备有可调节的细长狭缝,能增加各种样品的对比度,可通过内置滤色片滑板调节亮度和色温。低档的体视显微镜一般不用冷光源,而是在底座上直接安装一个卤素灯。这样的光源可以使照明底座发热,长期工作,会有烫手的感觉。落射照明装置主要有落射光纤照明、环形光照明和同轴落射照明。落射照明一般用于不透明的标本,如矿石、昆虫和电路板等。光纤落射照明装置的特点是安装简单灵活,可以任意调节照明的角度,特别是双光纤照明。可以照明昆虫、矿石等样品。但是这种照明始终存在死角,而且因为是斜照明,可能会存在阴影等缺点;环形光照明是在物镜上面直接安装一个环形的灯光(荧光灯光,或者LED)这样就可以垂直照射样品,解决了斜照明不能垂直照明的问题。但是环形光照明也存在一个问题就是对于中心的照明不够明亮,整个视野照明不够均匀,所以有同轴落射照明的推出;同轴落射光照明装置是在显微镜的内部加装照明光路,照明光经过物镜来照明这个样本,这样可实现超大视野的摄像范围,且亮度平均、画面清晰。在对晶圆片、液晶等圆形的辨认或者瑕疵检查、以及对校装置、各种尺寸芯片的测量,FA装置的自动化的检查上表现卓越.
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