真空计的检漏及区分 真空计技术指标

真空计（Vacuum Gauge)，又称规，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。

1、用电离计检漏时，示漏物质应选用电离效果与残余气体有可能大差异者，电离效果包括电离率及电离电位两者的综合结果，一般用氢，氦，二氧化碳等。

2、用热真空计检漏时，示漏物质可用氢，二氧化碳，丙酮。乙醚。酒精等。一般说来，用气体喷吹用液体覆盖为好，因为液体往往会堵塞漏孔，还会污染真空系统或器件，热真空计因为惯性大，反应慢，检漏时巡喷速度不宜过快，并仔细观察，认真判别是系统的压强波动，仪器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物质离开后，仪器指示恢复原状的，才是真正的漏孔。热真空计检漏，要在它的测量范围的真空度下，才能有效，即只适用于10^-1——10^-3托的真空度范围。它哪呢过检出最小漏孔为1*10^-5托升/秒。

电离计的反应热真空计快，但因示漏气体在真空系统中建立足够分压需要较长时间，故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力范围，大致同于其测量范围，故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。电离计能检的最小可检漏孔约为1*10^-6——1*10^-7托升/秒。

在真空计检漏中，即使示漏气体对着漏孔喷吹。或者示漏液体涂于漏孔，实际上都不可避免要夹带有空气进去，即示漏物质并没有彻底取代空气。带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用，另一方面还会引起不必要的读数波动，因为混进的空气分量时大时小。