陶瓷厚膜压力变送器由压力传感器和信号处理转换电路组成,根据不同的设计要求,两者可做成分离型或一体结构型。厚膜压力传感器的核心部件是陶瓷片上的厚膜电阻浆料(TFR),它以丝网印刷法印在Al2O3陶瓷弹性体上,再经烧结,装配等工序制成。由于厚膜应变电阻是用TFR浆料直接印烧在陶瓷弹性体上,应变电阻和陶瓷弹性体能牢固地烧结成一个整体,既满足了耐温、耐腐蚀要求,又避免了粘贴而引起的蠕变和迟滞。成品压力传感器由测压敏感元件TFR、密封垫圈、本体座等组成隔离密封腔,测量压力时由输入接续口导人测压容室,直接作用在隔离陶瓷片上,通过隔离陶瓷片产生应变导致分布在其面上的厚膜浆料电阻发生物理变化,这种变化由惠斯登电桥检出,然后进行信号的综合处理。
工作原理:
所谓厚膜压阻效应就是厚膜电阻浆料(TFR)受到应力之后,其阻值大小发生明显变化,即压阻效应。
现广泛应用的圆膜压力传感器,通常采用杯式结构,即在一片圆形的陶瓷上烧上一个环型陶瓷,形成杯底。因陶瓷片是一种极好的弹性体,所以当制成杯后,此圆形杯底就是一个相当理想的周边固紧的膜片。电桥的平衡状态相应变化,得到对应于待测压力信号的电信号,从而实现压力信号一电信号的转化。
厚膜压力变送器采用力敏材料为弹性极好的陶瓷体,故传感器具有良好的线性度、迟滞性及温度性能{直接接触各种介质无需隔离;体积小、重量轻、耐震动与冲击、易安装等特点,可广泛应用于煤气压力测量,低腐蚀程度的化学水压力测量,容器液位测量以及振动管道风压测量等领域。