闪测影像测量仪的校准规程

闪测影像测量仪又称一键式影像测量仪，简称闪测仪，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相机、大视角大景深远心镜头、不可移动工作台或可移动工作台组成，包括广视野与高精度测量模式。闪测影像测量仪可以自动识别出测量范围内的多个相同工件（或同一工件在测量范围内的多个相同特征），并能一次性地自动完成所有工件（或特征）测量。

一、校准条件

1、环境温度：（20±3）℃，且温度变化不大于1℃/h。闪测影像测量仪在室内温度平衡时间不少于12h,测量标准器在室内平衡温度时间不少于6h。

2、相对湿度：不大于75%。

3、仪器测量室内应无影响测量的灰尘、噪音、振动、腐蚀性气体和磁场干扰。

二、校准项目和校准方法

校准前，首先对闪测影像测量仪的外观及各部分相互作用进行检查，确定工作台表面没有碰伤、显著划痕等影响计量特性的因素后再进行校准。

（一）二维探测误差

1、二维探测误差P_M：将圆形靶标水平放置于工作台面上，在视场内调整影像清晰。在工作台移动的情况下，对整个圆大致均匀的采取25个点，采用单点测量的方法，不得一次采取测量窗口的所有点。

用所有25个测量点的数据拟合最小二乘圆，得到圆心，25个测量点到圆心的距离即为半径R_i，R_max-R_min即为探测误差P_M。

2、二维探测误差P_S：选择适当尺寸的圆形靶标（标靶影像直径约为视场范围的10%~30%），将圆形靶标水平放置于工作台面上，在视场内调整影像清晰。在工作台不作任何移动的情况下，利用视场内不同点对圆形靶标的圆周进行测量。

用所有25个测量点的数据拟合最小二乘圆，得到圆心，25个测量点到圆心的距离即为半径R_i，R_max-R_min即为探测误差P_S。

注：

①　选择广视野测量模式下进行校准。

②　当闪测影像测量仪的工作台可移动时，校准二维探测误差P_M与P_S；当闪测影像测量仪的工作台不可移动时，只校准二维探测误差P_S。

（二）尺寸测量误差

1、测量位置

当使用线纹尺作为测量标准时，在工作台面上应选择4个位置进行测量。其中两个位置应是沿测量范围内两条对角线X+Y与X-Y方向，另两个位置应是平行于X轴和Y轴方向。

注：可根据用户需要选择任意位置作为测量位置。

2、测量间隔

每个位置测量不少于3个间隔，最小测量间隔不大于该测量位置测量行程的10%，X轴与Y轴方向最大测量间隔不小于该测量位置测量行程的90%，对角线X+Y与X-Y方向最大测量间隔不小于该测量位置测量行程的66%。

3、测量方法

当使用线纹尺做测量标准时，按1的要求选择测量位置。在各测量位置上依次对规定的线纹间隔进行测量。三次测得值的平均值与标准器实际值的差值为尺寸测量误差。

当使用二维掩膜板做测量标准时，将二维掩膜板放置在工作台面上，依次按规定的间隔对二维图形标记的坐标进行测量，得到各标记点的二维坐标。三次测得值的平均值与标准器上对应点实际值的差值为尺寸测量误差。

注：

①　如闪测影像测量仪具有广视野与高精度两种测量模式，则需校准两种测量模式的尺寸测量误差。

②　当闪测影像测量仪工作台可移动时，按3的方法测量拼接模式下尺寸测量误差。

三、复校时间间隔

由于复校时间间隔的长短是由仪器的使用情况、使用者、仪器本身质量等因素所决定的，因此送校单位可根据实际使用情况自主决定复校时间间隔。

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